STIL光谱共焦传感器
STIL光谱共焦传感器提供纳米级、最高10KHz的Z方向高度数据。
传感器配备控制器、光纤和测量头。根据实际测量场景，控制器提供单通道、双通道和四通道选择，测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。通过优化配置控制器和测量头，可为工业应用输出更为经济、性能强大和稳定的测量能力。
PRIMA/ZENITH/OPTIMA+控制器
· 1/2/4通道选择
· 测量频率2Khz/5Khz/10Khz
· LED光源自动调节
· 位移/厚度双模式
· 数字量和模拟量输出
· 同步读取外部数字编码器
· 支持±42°大倾角测量头和90度径向测量头
控制器技术规格
测量头技术参数
注释：
（0）本表仅列举部分型号，全部型号请参考产品手册；
（1）数据在配置PRIMA控制器情况下得出；
（2）量程数值为配置特定控制器得出，在一般情况下可适当调整量程，但可能会影响测量性能；
（3）工作距离是指测量头最顶端与量程起始点距离，该数据在配置PRIMA控制器情况下得到，通常CL2、CL3和CL4型号可能存在±3%偏差，CL5型号可能存在±6%偏差；
（4）最大倾角是指测量镜面反射表面时的极限角度值，测量漫反射表面时该角度可达87° ；
（5）数据由1nm精度的编码器做比较校准，由传感器测量距离时，在整个测量范围内的最大误差。此数据为校准后立即获取，该数据的设置条件为：特定测量频率，0°倾角， 内部平均10次；
（6）静态噪音（SN）是指在量程中间处测得处于完全静态的样品的RMS噪音值，表中的两个SN值包括一个未平均值和一个10次平均值。这些值为最大的可接受值。该值是在测量头校准之后测的，并在出厂报告中标注。SN值决定了传感器的垂直分辨率。
（7）水平分辨率是在测量突变光度时得到的10%-90%转换距离，该值在量程中间处测得；
（8）此数据为聚焦点在量程中间处计算得出，量程开始端与结束端的光斑数值存在约10%差异；
（9）光量收集率是指测量同一样品情况下各个测量头收集到的能量，数据为相对单位数值。在测量高度反射样品时为了防止数据饱和，应选择低光量收集率型号测量头；在测量扩散或者低反射的样品时，为了避免较低的信噪比，应选择高光量收集率型号测量头；